PLDpȝ6靶位靶台Q?/span>可自转、公转（公{方向带摆动扫描功能）(j)?/span>
扫描式靶台可选，烧蚀均匀性更高，适用于各UŞ犉材?/span>
PLDpȝ6靶位靶台Q?/span>可自转、公转（公{方向带摆动扫描功能）(j)?/span>
扫描式靶台可选，烧蚀均匀性更高，适用于各UŞ犉材?/span>
靶材Q?/strong>6?/span>1英寸?/span>3?英寸
自{Q?/span>步进甉|控制
公{Q?/span>步进甉|控制Q可摆动扫描Q?/span>
传靶方式Q?/span>单独传送或整体传?/span>
扫描型靶台可?/span>Q靶C自{Q在XY方向U性扫描，提高烧蚀均匀?/span>
可定?/strong>
