辐射式加热器
加热温度高，加热均匀性好Q可q箋旋{Q适用于大寸基片
适用于脉冲激光沉U系l（PLDQ、磁控溅系l（sputteringQ、电(sh)子束蒸发pȝQE-beam evaporationQ等?/span>
辐射式加热器
加热温度高，加热均匀性好Q可q箋旋{Q适用于大寸基片
适用于脉冲激光沉U系l（PLDQ、磁控溅系l（sputteringQ、电(sh)子束蒸发pȝQE-beam evaporationQ等?/span>
最高加热温?/span>Q?/span>1000C
样品寸Q?/span>最?/span>8英寸
加热E_性：(x)u1C
升温速率Q?/span>10C/min
