產(chǎn)品綜述：高性價比PLD；模塊化設(shè)計、軟件實現(xiàn)自動化控制、安全互鎖功能
產(chǎn)品綜述：高性能PLD/LMBE；模塊化設(shè)計，最高5維樣品架，軟件實現(xiàn)自動化控制、安全互鎖功能 ...
產(chǎn)品綜述：大面積PLD；最大8英寸基片，激光線性掃描提高成膜均勻性，軟件實現(xiàn)自動化控制、安全互鎖功能 ...
產(chǎn)品綜述：超高真空，可不破真空調(diào)節(jié)靶槍傾角，精度0.1°
產(chǎn)品綜述：兼容超高真空，全自動控制鍍膜過程，可與PLD/磁控真空互聯(lián)
產(chǎn)品綜述：鍍膜設(shè)備與其他真空設(shè)備互聯(lián)，可在真空環(huán)境下完成樣品不同階段鍍膜及測試
